박막을 형성시키는 장치로서 진공중에서 금속, 화학물, 또는 합금을 가열하여 용융상태로부터 증발시켜 evaporated된 입자들을 기판 또는 센서 표면에 증착시키는 장치이다. 박막의 재료는 금속, 합금, 화합물과 비금속 산화물 등이 있으며 이들의 박막의 기능과 성질은 다양하며, 그 성질을 이용하여 다양한 센서의 제조에 쓰임.

이동상(移動相)에 기체를 사용하여, 혼합기체시료를 그 성분기체의 열전도율의 차를 이용하여 검출 ·정량하는 기기분석법.